表面粗糙度轮廓仪的接触式，即采用触针法。触针法又称针描法，它是将一个很尖的触针(半径可以做到微米量级的金刚石针尖)垂直安置在被测表面上作横向移矶触针将随着被测表面轮廓形状作垂直起伏运魂将这种微小位移通过电路转换成电信号并加以放大和运算处理，即可得到工作表面粗糙度参数值，主要分为电感式压电式感应式等几种。这种仪器稳定性好，示数客观可靠，使用方便等优点，其垂直分辨力可达到几纳米。

其优点：测量范围大、分辨率高、测量结果稳定可靠、重复性好。但是也存在很多的缺点：(1)金刚石测量头的硬度一般很高，易划伤工件，不适宜测量高质量和软质材料表面。(2)为满足测量头头部的耐磨性和刚度要求，测量头不能做的过于细小和尖锐，易影响测量精度。(3)测量微观表面轮廓时，为了保证扫描路径方向上的精度和横向分辨率，进给步距很小，所以测量速度不高。