平整度是指基板的宏观凹凸高度与理想平面的偏差。平面度测量是指被测实际表面与其理想平面的偏差。

　　测量方法:

　　1.塞尺测量。塞尺主要用来测量间隙间距，只能粗略测量平面度。使用塞尺前，必须清除塞尺和工件上的污垢和灰尘。使用时，可将一片或几片重叠插入缝隙，以感觉有点迟缓为宜。测量时动作要轻，不允许硬插。由于其精度低、检测效率低、结果不完整，只能检测零件的边缘。

　　2.液体平面法。液位法以液位为测量基准，液位由“连通罐”中的液位组成，再用传感器进行测量。基于连接器的工作原理，适用于测量连续或不连续的大平面的平面度，但测量时间长，对温度敏感，只适用于测量精度不高的平面。

　　3.用仪表测量。拍米法是将被测零件和千分尺放在一个标准平板上，以标准平板为测量基准，用千分尺沿实际表面逐点或沿几条直线进行测量。

　　平面度测量，又称平面度测量，主要用于玻璃行业的测量。测量平面度有几种方法:

　　1.大部分都是用塞尺测量。塞尺用于填充整个工件边缘，以获得测量数据。这种方法弊端很大，因为塞尺塞不进工件中间，导致中间部分的数据测不出来。而且塞尺容易刮伤工件，尤其是玻璃工件，更容易刮伤。

　　2.影像测量仪测量，影像测量仪通过自动光学聚焦扫描测量。图像测量仪虽然能达到要求的测量结果，但效率较慢。汽车刹车片、气缸盖、玻璃盖板、刹车片钢化膜、手机等。在工厂里大规模生产，而且都是全检，所以要求测量速度高。

　　3.接触探针测量。接触探针测量是通过用探针直接接触工件来进行的。探头测量法的精度比成像仪测量更精确，但探头的测量效率相对较慢。而且用探头测量一些软性材料或者容易划伤的工件，容易导致工件变形。探头的测量精度很高，但是测量效率不是特别快。

　　4.激光测量仪。激光测量仪采用非接触式激光点测量，不会损伤工件，效率高。激光测量仪有两种:单个激光测量仪和三个激光测量仪。单激光测量仪是用于激光点测量的激光头，测量准确，效率高。进一步提高了三激光测量仪的速度。如果测量速度需要很快，建议使用三台激光测点，保证了测量速度。激光头的数量可以根据需要增加。