影像测量仪
平面度，是属于形位公差中的一种，指物体表面具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。在传统的检测方法中，平面度的测量通常有：塞规/塞尺测量法、液平面法、激光平面干涉仪测量法（平晶干涉法）、水平仪/数字水平仪测量法、以及打表测量法。
塞尺测量法，只需一套可随身携带的塞尺就可随时随地进行平面度的粗测。目前很多工厂仍使用该方法进行检测。由于其精度不高，常规最薄塞尺为10um，检测效率较低，结果不够全面，只能检测零件边缘。
液平面法，基于连通器工作原理，适合测量连续或不连续的大平面的平面度，但测量时间长，且对温度敏感，仅适用于测量精度较低的平面。
激光平面干涉仪测量法，最典型的用法是平晶干涉法。但主要于测量光洁的小平面的测量，如千分头测量面，量规的工作面，光学透镜。
水平仪测量法，广泛用于工件表面的直线度和平面度测量。测量精度高、稳定性好、体积小、携带方便。但是用该方法测量时需要反复挪动仪器位置，记录各测点的数据，费时、费力，调整时间长，数据处理程序繁琐。
打表测量法，典型应用为平板测微仪及三坐标仪，其中优以三坐标仪为应用最广泛。测量时指示器在待测样品上移动，按选定的布点测取各测量点相对于测量基准的数据，再经过数据处理评定出平面度误差。但其效率较低，通常一个样品需要几分钟，离15ppm的期望相差甚远。
激光测量仪：嘉腾新开发平面度测量仪FS5030系列，采用高精度大理石基座及平板保证极高的平面精度以及稳定性和刚性.精密研磨级滚珠丝杆及线性导轨,配松下伺服马达具有高速精确的定位以及运动的稳定性.人性化的人机界面,配专用全自动平面测量软件,可编程自动检测,大大提高测量效率.含基恩士LK-G10或LKG30激光，可以快速测量平整度，伯恩光学、合力泰等玻璃行业公司，目前都在采用嘉腾新开发的平面度检测仪，大大节约人工成本，提供测量效率以及检测精度。
