影像测量仪
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技术参数
| 项目 | 参数 | |||
| 轮廓测量范围 测量精度 | X轴 | 100mm | 150mm | 200mm |
| 直线度 | 0.6μm /100mm | 0.6μm /100mm | 0.9μm /150mm | |
| Z1（传感器量程） | 40mm | 60mm | ||
| Z高度 | 650mm | |||
| 最小内孔 | 30mm (换小测针可测更小内径) | |||
| 线性精度 | ≤±（1+I0.12HI）μm | |||
| 圆弧 | ≤（1.5+R/8） | ≤（1.2+R/8） | ≤（1.2+R/8） | |
| 角度 | ≤±1.5′ | ≤±1′ | ≤±1.2′ | |
| 分辨率 | 0.1μm | |||
| 测量方式 | 传感器移动 | |||
| 电源 | AC 220V±10% 50Hz | |||
| 环境要求 | 相对湿度(RH)：＜85% | |||
注：圆弧：2mm＜R＜10mm 的标准球，取样圆弧夹角为120°。
角度：60°、90°的角度块，角边取样长度为 5mm。
以上参数均在 20℃± 2℃，阶梯温度不超过2℃/h 和地面振动最大 RMS＜50Hz
2.5μm/s 且RMS＞50Hz 5.0μm/s 的环境下测得。
