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轮廓仪

仪器测量原理:该仪器为直角坐标测量法,触针接触式。 X轴采用高精密的气浮导轨为基准,Z1轴采用数字传感器,测绘出被测零件的表面轮廓形状的坐标点通过计算机的软件

产品介绍introduction


项目  参数
轮廓测量范围
    测量精度
X轴100mm150mm200mm
直线度0.6μm   /100mm0.6μm   /100mm0.9μm   /150mm
Z1(传感器量程)40mm60mm
Z高度650mm
最小内孔30mm   (换小测针可测更小内径)
线性精度≤±(1+I0.12HI)μm
圆弧≤(1.5+R/8)≤(1.2+R/8)≤(1.2+R/8)
角度≤±1.5′≤±1′≤±1.2′
分辨率0.1μm
测量方式传感器移动
电源AC   220V±10%  50Hz
环境要求相对湿度(RH):<85%


注:圆弧:2mm<R<10mm 的标准球,取样圆弧夹角为120°。

角度:60°、90°的角度块,角边取样长度为 5mm。

以上参数均在 20℃± 2℃,阶梯温度不超过2℃/h 和地面振动最大 RMS<50Hz

2.5μm/s 且RMS>50Hz 5.0μm/s 的环境下测得。


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