实际应用中,既有对精度要求高的精密电子产品等用户,也有只限于一般测量的其他用户.从待测工件的尺寸来看,既有电子零配件等小型零件,也有印刷电路板等尺寸较大的工件.针对这些精密和尺寸要求不同的用户,影像测量仪制造商也相应地生产了不同精度级别和测量行程的仪器设备,以适应市场的多样化需求.

     一台高精度检测仪器,往往受限于多种精度瓶颈.对影像测量仪影响较大的精度瓶颈包括:标尺系统的精度,误差补尝性能,导轨质量,传动机构性能等.所以对于精度要求的不同,其配置的各部件会有差异.

      现以台硕公司的JTVMS型自动影像测量仪的结构配置为例进行说明.JTVMS型自动影像测量仪是台硕公司自主研制的高精密自动光学检测仪器,主要面向中小尺寸的工件测量,测量精度为(2.0+L/300UM),测量行程最大可达500MM*400MM.

    JTVMS型测量仪采用柱式结构,设计时尽量选用高端性能的部件以减少精度瓶颈.标尺系统是影响测量仪极限精度的部件,JTVMS选用了英国RenishawR的开放式光栅尺.JTVMS测量仪为全自动机型,为确保精度和计算机数字控制的性能.XYZ三轴导轨选用的是日本THK精密线性滑轨和精密传动机构.由于花岗石变形小,稳定性好,因此JTVMS测量采用花岗石作为主体结构材料.根据测量对象的不同,JTVMS型影像仪可以提供多种行程规格的配置.